Время работы
Установка газофазного осаждения вольфрама

ВГФ2

Отправить запрос

Оборудование газофазного осаждения вольфрама (ВГФ2) предназначена для нанесения покрытий из пиролитического вольфрама на теплонагруженные элементы электровакуумных приборов. Процесс осаждения вольфрама полностью автоматизирован.

Описание:

Основные особенности:

  • механизированная загрузка и выгрузка изделий;
  • формирование покрытия на внутренние и внешние детали типа «Трубка» с произвольным профилем сечения;
  • для покрытия деталей различных типоразмеров в габаритах реакционной камеры требуется лишь соответствующая замена оснастки;
  • автоматическое поддержание тепловых режимов печи – реактора, печи – дожигателя, барботера;
  • автоматическое регулирование расхода водорода;
  • автоматическая дозаправка барботера;
  • работа на установке осуществляется с панели оператора.

Технические характеристики:

  • Максимальные габаритные размеры обрабатываемых деталей ∅150, высота – 250 мм
  • Размеры рабочей зоны печи – реактора  ∅200, высота – 500 мм
  • Максимальная температура, °С Печи-реактора 800 ± 2 %, Печи-дожигателя 1000 ± 5 %, Термостатированного барботера (10÷25) ± 5 %
  • Скорость роста толщины покрытия 0,35 – 0,4 мм/ч
  • Применяемая энергетика:электроэнергия переменный ток 380/220 В, частоты 50 Гц, вода холодная по ГОСТ 2874-82 под давлением 2-4 атм. с расходом 3 м3/ч, азот сетевой по ГОСТ 9293-74 под давлением 1 атм. (изб.) ±0,1% с расходом 2 м3/ч, водород технический по ГОСТ 3022-88 под давлением 1 атм. (изб.) ±0,1% с точкой росы -40 °С с расходом 2 м3/ч, гексафторида вольфрама (WF6) с расходом до 200 л/ч, вытяжная вентиляция скруббера 8000–10000 Па, 500 м3/ч, вытяжная вентиляция установки 1000–2000 Па, 1500 м3/ч
  • Потребляемая мощность 40 кВт
  • Габаритные размеры 3540×1070×1855 мм 
  • При верхнем положении печи-реактора 2340×1070×1855 мм
  • Масса (расчетная) 1200 кг